超精密零件加工方法的特点：对外表层物质去除或添加的量能够作极细微的控制。但是要获得超精密零件加工精度，仍有赖于精密的加工设备和准确的克制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版即使采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）举行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，五金零部件加工中心，制成掩膜。电子束曝射制版必要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。

机械零件加工定做先粗后精：精基准加工好后，整个零件的加工工序，应该是粗加工工序在前，五金零部件加工厂，相继为半精加工、精加工及光整加工。按先粗后精的原则先加工精度要求较高的主要表面，五金零部件加工，即先粗加工再半精加工各主要表面，然后再进行精加工和光整加工。在对重要表面精加工之前，有时需对精基准进行修整，以利于保证重要表面的加工精度，如主轴的高i精度磨削时，精磨和超精磨削前都须研磨中心孔；精密齿轮磨齿前，五金零部件加工费用，也要对内孔进行磨削加工。

机械零件在切割与高温等的加工变形的过程中经常会发生一系列的变形现象，变形后零件不能用于高度精密的器械当中，造成的报废事故也会使得工程的成本增加。变形现象会大大地影响零件加工的质量与性能。所以，知道并了解熟悉机械零件加工中的变形原因。根据了解的变形原因，掌握应对它的对策，高1效的改进它的性能，提升加工质量就变得尤为重要。